低温等离子体工业除味设备及技术是利用高频高压电场放电产生的新代低温等离子体技术，它具有高能量和高电子发射密度的特点，其净化原理如下：
（1）在放电过程中，电子从电场中获得能量，并通过非弹性碰撞将能量转换为污染物分子的内能或动能，获得能量的分子被催发或电离形成活性基团。当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解为单个物质原子或由单个原子组成的无害气体分子。
（2）等离子体中含有大量高能电子、正负离子、催发态粒子和具有强氧化性的后型自由基。这些活性粒子与一些废气分子碰撞结合，产生大量的Oh、HO2、O等活性自由基和氧化性较强的O3，它们可以与有害气体分子发生反应，终生成无害产品。
（3）物理效应表现在带电除尘中。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞，并粘附在其表面使其带电。在除味设备电场的作用下，颗粒污染物被除尘器收集。
（4）生物质的作用表现在其消毒和消菌的功能上。机制是：物质中的正负粒子使微生物表面的电切力过干，细胞膜的表面张力过大，导致细胞膜的破坏和微生物的死亡。
在放电过程中，电子从电场中获得能量，并通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能。这些获得的能量分子被催发或电离形成活性基团。同时，空气中的氧和水也能在高能电子的作用下产生大量新的生态氢、活性氧、羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后，会引发一系列复杂的物理化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体富含高度化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和催发分子。废气中的污染物与这些活性基团发生高能反应，终端转化为CO2、H2O等物质，从而使除味设备达到净化废气的目的。
