目前，我国对废气处理的重视程度越来越高，越来越多的企业投资于等离子废气处理设备。等离子废气处理设备工业尾气的放电等离子体处理因其自身的特点受到企业的青睐。下面介绍了一种等离子体废气处理设备的放电等离子体处理方法。
等离子废气处理设备的放电等离子体处理方法是通过高压放电获得非热平衡等离子体，产生大量的由电子产生的O、OH、N基活性粒子，破坏C-H、C-C等化学键，引起置换反应。尾气分子中H、Cl、F等的作用，然后产生CO_2和H_2，即工业废气经排放处理以后不再对人的健康有害。
等离子废气处理设备是目前处理有害气体的有效方法之一。世界对协同催化剂和反应器进行了大量的研究工作。
在等离子体中添加催化剂，可以提高污染物的去除效率，大大降低能耗和副产物。世界上对这种协同催化剂的研究主要集中在金属氧化物和二氧化钛催化体系。利用等离子体和催化反应的协同作用，提高有机废气的净化率，使能耗降低是成功的。